サーマル熱電対ができるまで

半導体製造装置を支える高信頼センサー 2000℃域を測る
温度計

先端半導体の性能を支えるのは、わずかな温度差を見極める技術

最新技術に使われる半導体では、わずかな温度差が製品の品質を左右します。フルヤ金属の熱電対は、2000℃の高温にも耐え、正確な温度測定を実現し、先端半導体製造を足元から支えています。

たとえば、
半導体製造工場に！

フルヤ金属熱電対高温の環境で正確な温度を測るための「センサー」

お客様半導体製造装置用温度センサー

01

素線の製造

特殊な方法で熱電対の素となる金属線を製造

熱電対の中に使われる金属の線（素線）は、超高温になる場所で長く使われるため、強さが重要です。フルヤ金属では、R-SP製法という特別な方法で、曲がりにくく、壊れにくい素線を作っています。

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R-SP製法とは？

フルヤ金属が開発したR-SP製法は、白金素材を高純度化し、プラズマ焼結法で成形する独自技術です。従来品に比べて約2倍の強度と10倍のクリープ寿命(高温での変化のしにくさ)を実現しました。半導体製造などの最先端分野で信頼される、長寿命・高精度の熱電対を支える技術です。

02

校正試験

JCSS認定の信頼性ある温度精度を保証

校正試験とは、測定器が正しく測れているかを確認することです。フルヤ金属では国の認定を受けた校正試験を通じ、熱電対の温度精度を保証しています。正確な計測が製品の品質保証に不可欠な基盤を支えています。

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JCSS校正証明書のメリット

JCSS（Japan Calibration Service System）とは、国家計量標準へのトレーサビリティを保証し、ISO/IEC 17025に準拠した技術力と運用体制を持つ校正制度です。この認定により、当社の熱電対校正サービスは国内外で信頼され、品質証明性と測定精度の高さを国際的に認められています。産業や研究、取引先に対して高い信頼性を提供できることが大きな強みです。

03

保護管加工

センサーを守るガラス管（石英）を加工

石英管のカットや封じ加工など、熱電対を外部環境から保護するための処理を社内で実施しています。高温でも耐久性の高い構造を実現しています。

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石英加工を担う千歳工場を2026年に移転

石英製品の加工を担う千歳工場を2026年に移転します。今回の移転は、需要の拡大や生産効率の向上に対応するためのもので、最新設備を導入し、品質と供給体制のさらなる強化を図ります。今後も、半導体製造をはじめとする先端分野に向けて、高精度な石英製品を安定的に提供できる体制を整えていきます。

04

熱電対組立

クリーンルームで高品質組立

センサーはとても繊細なものなので、ゴミやチリが入らないように、清潔な「クリーンルーム」で組み立て作業を行います。こうした繊細な組立作業を経て、半導体製造装置にも使われている、信頼のある製品になります。

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クラス100対応のクリーンルームを保有

クラス100のクリーンルームとは、1立方フィートあたりの微粒子数が100個以下に保たれた非常に清浄な環境です。クラスの数が小さいほど、より微粒子が少ない環境を指しています。
半導体や電子部品などの高精度な製造に不可欠で、フルヤ金属では厳しい管理体制のもと、製品の品質と信頼性を高める環境を整えています。