2023年02月02日
豊橋技術科学大学及び東北大学における「高磁場による金属プラズマの発生」の研究論文発表に関するプレスリリースのお知らせ
豊橋技術科学大学及び東北大学は、液体やガスを使わず、マイクロ波共振器で形成される高磁場のみで、固体金属から直接放出される金属イオンと電子によりプラズマが発生し、その維持ができることを発見しました。このたび豊橋技術科学大学及び東北大学にて共同で論文が発表され、その概要がプレスリリースされましたので以下にお知らせ申し上げます。
詳細URL
豊橋技術科学大学 https://www.tut.ac.jp/docs/PR230202.pdf
東北大学 https://www.tohoku.ac.jp/japanese/2023/02/press2023020201-plasma.html
本技術は、弊社が参画している「NEDO 先導研究プログラム／マテリアル・バイオ革新技術先導研究プログラム」の採択事業である「酸化スカンジウム精錬技術の高度化に向けた装置開発と応用」の最終目標達成へ寄与するものとなっています。当該技術の事業化によって、国内での安定した金属スカンジウムの製造、供給の実現を目指し、弊社としても Al-Sc スパッタリングターゲットの安定供給が可能となります。このターゲット材により作製される AlScN 膜は 5G 通信（第 5 世代移動通信システム）を支える電子通信機器の RFFE（RF Front-End Control Interface：無線周波数フロントエンド）用フィルタ材や、自動運転のセンサーとして利用される MEMS（微小電気機械システム；Micro Electro Mechanical Systems）デバイスなどに期待されています。
本件に関するお問い合わせ先
株式会社フルヤ金属 総務・CSR部
TEL. 03-5977-3377
E-mail. ir@furuyametals.co.jp