熱電対関連製品 強化型R熱電対 R-SP

フルヤ金属が長年にわたり蓄積してきた熱電対材料技術と製造ノウハウを結集し、試行錯誤を重ねて開発したオリジナルの強化型R熱電対です。高温環境下における課題であったクリープ変形に真正面から向き合い、独自の材料設計と製法技術により、従来品では両立が難しかった高強度化と高精度の維持を実現しました。
他金属や不純物の添加に頼ることなく、純粋な材料特性を最大限に引き出す独自製法によってクリープ強度を大幅に向上させ、ロングライフ化を達成しています。その結果、従来のR熱電対と同等の測温精度を保持しながら、過酷な使用環境においても安定した性能を発揮します。
厳しい温度制御が求められる半導体製造プロセスなどの最前線において採用され、その信頼性と耐久性は実績によって裏付けられています。

特性

従来のR熱電対に比べて約2倍のクリープ強度を持つ、長寿命熱電対

R熱電対はJIS規格品の熱電対の一種で、高い耐熱性と測温精度から半導体製造などの様々なプロセスに使用されています。しかし、熱電対は高温域で荷重が掛かり続けたり、使用中の昇降温で伸び縮みを繰り返すと断線を引き起こします。断線を防ぐため、熱電対に不純物を添加することで熱電対の強度を上げる手段がありますが、不純物の添加は熱起電力に影響を与え、測温の精度低下を招きます。これらの課題に対し、当社は不純物を添加せずに独自の製法を行うことで高強度かつ高精度な強化型R熱電対「R-SP」を開発しました。測温の精度はR熱電対と同等でありながら、素線単体のクリープ強度を従来品の2倍に引き上げたR-SPは、半導体製造プロセスなどの様々な分野で使用されています。

断線のメカニズムと断面組織

素線断面組織

従来R熱電対 R-SP
常温
1400℃ × 1Hr
加速試験後

クリープ強度試験

ドリフト試験

素材を活かした温接点部

通常の溶接方法を行うと、R-SPの特徴である伸長した組織ではなくなり、強化された効果が薄れてしまいます。そのため溶かし込みを減らし、素線にPt製スリーブを巻き圧着する方法により強化を維持することを可能にしました。

通常接合

R-SP組織と溶融された組織に境界が発生

圧着接合

R-SP特有の伸長された組織を維持

お問い合わせ

製品や技術についてのご質問、ご相談はお気軽にお問い合わせください。
担当者より改めてご連絡いたします。

カタログダウンロードはこちら

トップに戻る