薄膜製品 HDD用スパッタリングターゲット

HDD（Hard Disk Drive）の磁気記録媒体や磁気ヘッドには、Pt系合金やRuなど、様々な貴金属薄膜が使われています。昨今、生成AI、クラウドサービス、動画配信、IoTの急拡大により、データセンター向けストレージ需要は継続的に増加しています。特に、ハイパースケールデータセンターでは、TCO（Total Cost of Ownership）の観点から大容量Nearline HDDの需要が高まっており、記録容量は30TB超の世代へと進化しつつあります。従来の垂直磁気記録方式（PMR：Perpendicular Magnetic Recording）は面記録密度の物理的限界に近づいており、次世代技術としてHAMR（Heat-Assisted Magnetic Recording）、MAMR（Microwave-Assisted Magnetic Recording）の実用化が進んでいます。その実現には、貴金属を含む高機能薄膜材料が不可欠であり、スパッタリングターゲットの純度、組成精度、結晶粒制御が記録密度および長期信頼性を左右します。
当社では、ルテニウムを中心に単金属、合金のスパッタリングターゲットを製造・開発しています。