薄膜製品 半導体用スパッタリング
ターゲット

半導体分野において、貴金属スパッタリングターゲットは配線形成や機能層形成を支える重要材料です。さらなる微細化に向け、EUVリソグラフィ用マスクの高精度化・高耐久化や、バリアフリー配線の開発が進められており、それらに貢献する材料としてルテニウムをはじめとする貴金属が注目されています。加えて、SOT‑MRAMやReRAMなど、次世代半導体メモリにおいても、安定した電気特性と高い信頼性を実現するキーマテリアルとして有効です。当社は、高い品質が要求される半導体分野向けに、高純度なルテニウム、イリジウムターゲットや、様々な貴金属合金のターゲットの製造・開発を行っています。