薄膜製品
光学製品用スパッタリング
ターゲット
ディスプレーや光学ディスクといった光学製品分野においても、貴金属材料重要な役割を担っており、配線や電極、反射層、バリア層などに用いられています。貴金属の優れた導電性や耐食性、光学特性は、高精細・高信頼性デバイスの実現に貢献しています。当社では、当社が開発した銀合金「APC」をはじめ、様々な貴金属ターゲットを製造しています。
用途別使用材質
| OLED | APC、Ag |
|---|---|
| LED | APC、Ru、Pt |
| Low-eガラス・フィルム | APC、Ag |
| 光ディスク | APC |
| エレクトロクロミックミラー | Ir、Ru |
APCシリーズ
銀合金「APC」は、銀の卓越した材料特性である低抵抗率、高反射率を活かしたまま、弱点の耐環境性、耐熱性を改善した当社開発の合金材料です。製造プロセス中の熱処理後や、過酷な環境においても銀と同等レベルの特性を持っています。APCは、タッチパネルの配線をはじめ、OLEDや反射型LCDの反射電極、LEDや水晶振動子電極、パワー半導体のメタライズ層など、様々な用途に使用されます。最近は、金の材料コストダウンを目的に、APCを金の電極の代替として検討されるケースも増えています。当社は、幅広いAPCのラインナップの製造・開発を行っており、各用途に最適な材料のご提案をしています。
高耐熱性銀合金（APC-TR）
APC-TRは、銀の耐熱性、高反射率、低抵抗性を大幅に向上させた当社のスタンダード銀合金です。ガラスとの高い密着性や、エレクトロマイグレーション耐性、良エッチング性といった特性も有しています。反射膜、電極、配線用途など様々な分野で使用されます。
高反射銀合金（APC-AR）
APC-ARは、OLEDなどのディスプレー分野でのニーズに応じて開発した高反射銀合金です。APC-TRよりもさらに高い反射率を有し、同時に純銀と比較して優れた耐熱性を両立したシリーズです。
深紫外領域向けルテニウム反射膜
紫外～深紫外波長域において、ルテニウムは他の金属系と比べて高い反射特性を保有しています。当社はルテニウムのスパッタリングターゲットや蒸着材の製造・販売のほか、受託成膜のラインナップとしてもルテニウムを取り揃えています。ほか、用途に応じた特性をもつAPCシリーズを開発しています。
Ruの物性 Material property
| 材料 | Ru | Al | Ir | Rh |
|---|---|---|---|---|
| 融点 | 2250℃ | 660℃ | 2443℃ | 1966℃ |
| 抵抗値 | 7.7μΩ㎝ | 2.67μΩ㎝ | 5.1μΩ㎝ | 4.7μΩ㎝ |
| 仕事関数 | 4.52 | 4.08 | 5.27 | 4.80 |
| 塩酸体制 | ◯ | ✗ | ◯ | ◯ |
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