熱電対関連製品 半導体製造用熱電対
半導体製造において、拡散炉やCVD炉などの精密な温度管理が求められる工程では、熱電対は品質と歩留まりを左右する不可欠な要素です。当社は、これらの工程で使用される熱電対や石英加工品を製造しています。熱電対素線材料の製造から組立、温度校正まで一貫して対応し、お客様の高度なニーズにお応えします。また、ウエハに熱電対を付けた「ウエハ熱電対」や、R熱電対のクリーン強度を向上させたオリジナルの強化型R熱電対「R-SP」も製造しています。
SiC保護管型熱電対
主にSiC保護管で構成されている熱電対です。拡散炉やCVD炉で使用されています。
L型石英保護管型熱電対
主に石英保護管で構成されている熱電対です。拡散炉やCVD炉で使用されています。
スパイク熱電対
拡散炉やCVD炉のヒーター制御に使用されています。
ウエハ熱電対
Si、ガラスなどのウエハ表面の温度分布を確認するための温度センサーです。
石英加工品
熱電対の保護管や半導体製造に使用される石英加工品を製造しています。不純物混入を防止するため、クリーンルームにて加工を行い、高品質な製品を提供しています。
業界別関連製品
