熱電対関連製品
高品質の熱電対で、
世界の半導体製造を支える
熱電対は、産業界の幅広い分野で温度計測に用いられています。半導体製造プロセスにおいても、微細化・高集積化が進む各工程の温度管理に欠かせない重要部材です。当社は、プラチナ・ロジウム系をはじめとする貴金属系熱電対を中心に、設計・製造・販売までを一貫して担う体制を構築し、お客様の要望や使用環境に応じた最適な熱電対を提供しています。
市場ニーズ
半導体需要の増加
半導体製造プロセスでは、成膜や拡散などの工程を中心に、極めて高精度な温度制御が求められます。また、高温環境下での長時間安定性が必要とされる工程も多く、プラチナ・ロジウムを用いた高温・高精度対応のR熱電対が広く採用されています。半導体の市場拡大に伴い、高品質な熱電対を安定的かつ大量に供給することが求められています。
トレーサビリティ重要性の高まり
半導体サプライチェーンにおいて、トレーサビリティは国際的に重要な要件となっています。AIの進展により市場が拡大する一方、製造プロセスの高度化や供給網の複雑化が進んでいます。このため、品質不具合や供給リスクへの対応として、部材レベルでのトレーサビリティ確保が不可欠です。熱電対においても、品質・信頼性を担保するためのトレーサビリティ取得は必須要件となっています。
高温プロセスの増加
近年、パワー半導体向けの単結晶育成や航空宇宙分野などの先端産業において、高温での焼結・溶融・製造プロセスが増加しています。これらのプロセスでは、場合によっては2000℃を超える高温処理が求められることもあり、過酷な高温環境下にて高精度かつ安定した測温を行うニーズが高まっています。
フルヤの強み
01
一貫生産体制
当社は素線加工、部品調達、組立まで一貫した生産体制を構築してきました。お客様に品質、コスト及び納期に満足いただける体制を整えています。
02
品質への取り組み
特に高い品質管理が求められる半導体製造用熱電対は、空気中の異物が除去されたクリーンルームで保管・組立を実施しています。また、当社はKOKUSAI ELECTRIC様の承認サプライヤーとして認定されています。
03
独自の熱電対製品
貴金属メーカーならではの知見や技術力を活かし、独自開発した強化型R熱電対「R-SP」や、2000℃を超える温度領域での測温に対応した「Ir-Rh熱電対」といった特殊な熱電対製品の製造・販売をしています。
04
リサイクル技術
R熱電対やB熱電対など、使用済みの貴金属熱電対をリサイクルして新たな熱電対に加工します。これにより貴金属材料費を低減することが可能です。
製品ラインナップ
